成立仅半年 上海芯上微装第500台步进光刻机交付

日前，上海芯上微装科技股份有限公司（简称“芯上微装”）宣布，其第500台步进光刻机成功交付，标志着我国高端半导体装备产业迈入新阶段。据了解，先进封装光刻机是芯上微装的核心产品，具备高分辨率、高套刻精度